为什么有些半导体器件的生产工序要在真空中进行?

首席造型师,小海 2024-09-28 03:58:27
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电路和微电子考研 ...第二是加热后挥发出来的金属的平均自由程,chamber的真空越高,平均自由程越长(平均自由程 mean free path=kt/(sqrt(2)*pi*sigma^2*p),where p ** the ... 20210311
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