假如一个**以一己之力研制出光刻机意味着什么?

刘乐乐 2024-12-01 01:45:55
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euv 光刻机上市时间表的不断延后主要有两大方面的原因,一是所需的光源功率迟迟无法达到 250 瓦的工作功率需求,二是光学透镜、反射镜系统对于光学精度的要求极...2017.^a b ... 20210311
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