目前最先进的光刻机的波长是多少nm,一台光刻机可以做几个节点的工艺?

?夏小7️⃣ 2024-09-28 00:39:49
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台积电目前已拥有的euv光刻机可以往下做5nm,3nm的工艺吗,还是需要重新购买更先进的光刻机? 20210311
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