气相二氧化硅

小红花 2024-09-28 01:09:45
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sio2靶的射频溅射法是制备sio2二氧化硅的主要方法之一。这种方法在低温下制备的sio2二氧化硅,具有多孔结构,致密度低,因而抗侵蚀能力差;而在较高温度下制备的二氧化硅,具有... 20210311
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