光刻机和刻蚀机的区别

张扬晓烨ღ 2024-12-02 04:52:41
最佳回答
刻蚀相复对光刻要容易。制光刻机把图案印上去,2113然后刻蚀5261机根据印上4102去的图案刻蚀掉有图案(1653或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用... 20210311
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