光刻机是芯片制造的关键,现在**有哪些企业在研究光刻机?

李莎莎同学 2024-11-29 03:58:20
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目前有哪些**企业在研究光刻机?光刻机是一个高精度高复杂集百年工业制造之结晶的一种高科技产品,目前除了荷兰的阿斯麦能够批量生产7nm光刻机之外,基本上再没有任何一家企业有着这样雄厚的技术实力。我国目前也仅有四家企业在研究,并且各自有各自的领域优势。1、上海微电子装备有限责任公司。上海微电成立于2002年3月,邻近**集成电路产业基地、**半导体照明产业基地和**863信息安全成果产业化(东部)基地等多个**级基地。该公司自主研发的600系列光刻机,已经实现90nm的量产,目前正在研究65nm的工艺。2.合肥芯硕半导体有限公司。合肥芯硕半导体有限公司成立与2006年4月,是国内首家半导体直写光刻设备制造商。该公司自主研发的atd4000,已经实现最高200nm的量产。不过按照目前最新消息其已经申请破产清算,主要是光刻机对研发的投入资金是在太大,又没有成熟的产品面向市场,终究难免面临倒闭的风险。上海微电子也是通过快速占领光刻后道工艺技术,迅速占领国内80%市场份额,才得以生存。3.无锡影速半导体科技有限公司。无锡影速成立于2015年1月,影速公司是由中科院微电子研究所联合业内子资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业微电子装备高科技企业。该公司已经成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备,已经实现最高200nm的量产。4.先腾光电科技有限公司
先腾光电成立于2013年4月,已经实现最高200nm的量产,在2014国际半导体设备及材料展览会上,先腾光电亮出了完全自主知识产权的led光刻机生产技术,震惊四座。以上就是目前我国曾经或者现在还在研发光刻机,但是最有实力的还是有**主导的上海微电子装备有限责任公司,不仅是在人才上还有在资金技术实力上都有着希望将**的光刻机发扬光大,在未来的光刻领域做出一定的贡献。 20210311
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