激光共聚焦显微镜、扫描电镜原子力显微镜三者的区别

严辉辉 2024-06-17 07:36:45
最佳回答
三者都是点源逐点扫描成像,通过控制扫描驱动范围,调节放大倍数,主要区别

1、极限分辨率不同, 缘于放大信号源的差异
激光共聚焦:极限分辨率 150nm.
扫描电镜:20nm~0.8nm.
原子力显微镜:极限分辨率0.1nm
2、扫描驱动方式不同
激光共聚焦:激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度。
扫描电镜:电磁线圈控制电子束扫描范围和扫描速度,
原子力显微镜:压电位移传感器驱动样品台x,y 方向扫描,
3、立体成像的差别
激光共聚焦:通过纳米精度步进电机驱动样品在z轴方向逐层成像,软件将设定的各层图像合成清晰立体图像。
扫描电镜: 单帧图像具有很大景深,但属于二维图像,通过立体对技术可实现三维成像。
原子力显微镜:成像的本质就是测量表面每个像素点的高低,描绘出立体形貌。
4、工作环境差别
激光共聚焦和原子力显微镜可以在大气环境中进行测试样品
一般扫描电镜必须在高真空环境下进行测试样品
5、应用范围差别
激光共聚焦:几倍 ~ 几千倍,样品制备简单
扫描电镜 :几倍~几十万倍,样品制备稍微复杂一些,但总体也很简单。
原子力显微镜:几万倍~几千万倍, 要求样品非常平坦,样品制备很难。
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