什么是原位掺杂

时尚聚集地 2024-12-22 17:10:16
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举个例子,在sic晶片的掺杂中,氮是最常用的n型原位掺杂剂,由于氮原子尺寸(0.74a)非常接近碳原子尺寸(0.77a),所以氮原子往往替代碳原子的晶格位置。n替代了c原来该占据的位置,所以是原位掺杂。——个人看法 20210311
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