谁知道树脂工艺品用的模具是怎么做出来的?

S.cK 2024-06-20 19:59:39
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一种聚**硅氧烷微流控芯片复型光固化树脂模具制作方法,采用环氧类光敏树脂配制的液态光刻胶为微模具材料,以石英玻璃为背衬基片,通过基片上的硅烷偶联剂涂层增加模具结构与基片的结合力,用在基片周围粘贴不同厚度的塑料薄片的方法控制光刻胶厚度,以高分辨率激光照排机输出的感光软片为光刻掩模,以普通紫外灯或紫外线激光器为曝光光源,以f46薄膜为曝光时的保护膜,以**为显影液,通过振荡获得干净清晰的显影轮廓,通过显影后的二次光固化提高结构强度及结构与基片的结合力。该模具可用于复制pdms材料的微流控芯片、生物芯片、压印光刻工艺中使用的软模具,还可用于其它微机械电子系统(mems)的加工领域。 20210311
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