光刻机为什么**人自己不会做,核心技术是什么

爱礼丝儿 2024-05-29 19:33:56
最佳回答
光刻机**能制造,但是精度不如国外。
**科学院成都光机所和四十五所,能制造接近接触式光刻机。
上海微电子装备有限公司能够制造投影式光刻机。在led、ic后道和平板显示的微米级光刻机都有不少销量。ic前道光刻机分辨力要求较高,目前只能制造百纳米或几十纳米级别光刻机,而国外已经推出13纳米的光刻机了。
核心技术包括投影物镜、精密运动台和精密测量系统等。对于最先进的光刻机,关键的镜片、传感器和电机等依靠进口。 20210311
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