海德汉光栅尺lida405的分辨率是多少?

王倩文-- 2024-05-15 12:54:33
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这种光栅尺看你要什么信号的,如果是ttl 光栅尺输出可以达到0.2um分辨率。后面做个四倍频可以做到0.05um分辨率。 20210311
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