分子泵与扩散泵的关系

小羽❤️ 2024-12-02 15:28:33
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分子泵和扩散泵可以到达的真空度范围是差不多的,两个是同级的。但两个泵又各有不同的优点和缺点,所以在市场上两者是并存的。1:分子泵体积小,耗能小,对真空室的污染比较小。但是相比扩散泵,分子泵的抽气速度比较低,维护成本比较高(精密)。2:扩散泵可以设计为很大的抽速,购置成本比较低。但是扩散泵体积比较大,能耗高,会对真空室有很重的油污染,一般要配合液氮(氦)冷阱用(运营成本高),不环保。按趋势来讲,高真空泵还是向分子泵方向在发展,但是由于分子泵叶片转速很高,所以对轴承有很高的要求,国内厂家生产的分子泵稳定性不是很好,国外的分子泵价格又过高,所以国内工业生产上一般还是选用扩散泵。只有在一些高端的产业像半导体产业和科研单位才会用到分子泵。 20210311
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