为什么全球只有asml才能生产光蚀刻机?

Sunshine 2024-09-25 03:11:11
最佳回答
谢邀!中兴**后看来全民火热的“芯”思从芯片深入到了芯片制造的核心设备!作为从事相关行业的工厂狗(业内戏称,原因是芯片制造厂有加不完的班和随时on-call待命的特色,很多工厂工程师还得连续夜班=!不得不说从业的伙伴们单身率极高,工厂狗这种自称太合适不过了).
言归正题!不是说光刻机只有asml能产,这个高帽asml也不敢这么背.光刻机本身类型有很多种,首先得区分应用领域,在显示面板制造领域,以boe为例,业内光刻机寡头还是cannon(asml不涉及相关领域,此处不细说);在半导体/集成电路制造领域,以中芯国际,华虹宏力为例,设备类型也有很多种.粗糙的说,按设备从低端到高端来分的话,基本可以分为三大类:接触式光刻机(aligner,代表厂家有美国abn,德国suss 为主)、步进式光刻机(stepper,代表厂商有日本nikon和canon,以及国内的smee)、扫描式光刻机(scanner,代表厂商有asml,nikon).价格上有从几十万欧元到几千万欧元之差!设备越贵越先进,对应的制造技术也越先进,而asml擅长或者垄断市场的是在扫描式光刻机.
所以确切的说asml首先垄断的是先进制造领域的扫描式光刻机,目前光刻机市占率超七成.这一切要归功于2000年asml的在设备上的重大技术突破,2000年之前的光刻机市场基本被nikon和canon所统治,当时以nikon为代表得日系设备都采用单一工作台,asml实现了双工件台的技术突破(称之为twinscan),使得整个设备的产能倍增,大大受到集成电路制造厂的喜爱,之后很快占据主导市场,而日系光刻机慢慢进入灰色惨淡期.asml从此在产业领域顺风顺水,目前主打设备为arf浸润式光刻机,最近媒体报道的华力买的1980机型就是目前asml市售最高阶的arf浸润式光刻机.
那么在集成电路这样的烧钱产业中,拥有了核心市占率之后能干嘛?答案是强者恒强,买买买.一台扫描式的光刻机制造非常复杂,从硬件到软件系统都非常有技术难度.粗犷的说,以光源,投影棱镜以及系统最为核心.而为增加技术统治地位,开发euv光刻.asml入股全球最好的棱镜供应商蔡司,以增加双方的合作,在光刻机光源部分还收购了cymer(业内认可的两大激光光源供应商之一,另一家是giga),以疯狂布局euv技术开发.以致英特尔,三星,台积电等制造大佬们纷纷砸钱入股asml,大力配合asml开发更为高阶的euv光刻机,等于是整个产业链都得配合着asml走.所以到了euv时代,目前asml拥有绝对领域!看官们肯定会问,为什么其他厂商不可以做euv光刻机?其实整个产业已经被asml垄断,从零部件到设备软件系统都有asml强力的专利垄断以及整个供应链独一无二的掌控!并且先进光刻机的开发和先进光刻技术,先进集成电路制造技术都是强相关性的,不是单一设备供应商说玩就能玩的.最先进的制造厂有最先进的制造需求,最先进的设备制造商可以拿到最先进的制造需求,从而可以知道最先进的设备设计,可以有最先进的零部件供应商,最先进的光刻材料商来协同配合,互相反反复复,从而才能共同开发出最先进的制造技术.水**融,相辅相成,最后强者恒强!以上个人愚见,如有不到位或者不确切之处请指正! 20210311
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