求助:直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?

萱萱 2024-11-29 10:45:05
最佳回答
2.由于电、磁、气、等离子体、安装、靶材自身等因素的影响,靶材的消耗是不均匀的,基本成一个 环“u”状。“u”谷深度也不尽相同,存在一个薄弱点(最先穿透)。3.穿透时... 20210311
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