我国的光刻机5纳米生产技术要多久才能突破?

晴天! 2024-11-30 11:39:34
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华卓精科更是打破asml的垄断,完成了光刻机工作台系统从0到1的突破。...目前国内最先进的光刻机制造公司上海微电子也仅仅只能生产出90nm的光刻机,虽然有媒体称,上海微电子... 20210311
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