我国在光刻机研制方面是否有专业的研发机构或团队?

当地有名的灵魂诗人 2024-11-16 09:20:14
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并且为此专门组建了上海微电子装备有限公司(smee)作为研发主力,并且把中电科45所有关光科技研发的技术团队转移到了上海。同时各主要的子系统部分也...双工件台来自华卓精科。... 20210311
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