什么是低k材料

李十五 2024-12-01 18:35:50
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进入90nm工艺后,low-k电介质的开发和应用是芯片厂商...在制造工艺上,由于low-k材料的松软结构和易渗透性,使得cmp(化学机械研磨)和清洁工序变得更为艰难,并导致成品率下降... 20210311
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