cmp的电子

小Q先生 2024-05-27 17:07:17
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化学机械抛光是半导体百工艺的一个步骤,该技术于90年代前期开始被引入半导体硅晶片工序,从氧化膜等层间绝缘膜开始,推广到聚合硅度电极、导通用的钨插塞(w-plug)、sti(元件分离)问,而在与器件的高性能化同时引进的铜布线工艺技术方面,现在已经成为关键技术之一。虽然目前有多种平坦答... 20210311
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