多晶硅生产中cdl-2氢压缩机跳停怎么处理

王倩文-- 2024-11-17 00:03:20

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在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。电解制得的氢气经过冷却、分离液体后，进入除氧器，在催化剂的作用下，氢气中的微量氧气与氢气反应生成水而被除去。除氧后的氢气通过一组吸附干燥器而被干燥。净化干燥后的氢气送入氢气贮罐，然后送往**合成、**氢还原、**氢化工序。电解制得的氧气经冷却、分离液体后，送入氧气贮罐。出氧气贮罐的氧气送去装瓶。气液分离器排放废吸附剂、氢气脱氧器有废脱氧催化剂排放、干燥器有废吸附剂排放，均供货商回收再利用。 2、**合成工序从氢气制备与净化工序来的氢气和从合成气干法分离工序返回的循环氢气分别进入本工序氢气缓冲罐并在罐内混合。出氢气缓冲罐的氢气引入**合成炉底部的燃烧枪。从**汽化工序来的**经**缓冲罐，也引入**合成炉的底部的燃烧枪。氢气与**的混合气体在燃烧枪出口被点燃，经燃烧反应生成**气体。出合成炉的**气体流经空气冷却器、水冷却器、深冷却器、雾沫分离器后，被送往**合成工序。为保证安全，本工序设置一套主要由废气处理塔、碱液循环槽、碱液循环泵和碱液循环冷却器组成的含氯废气处理系统。必要时，**缓冲罐及管道内的**可以送入废气处理塔内，用**水溶液洗涤除去。该废气处理系统保持连续运转，以保证可以随时接收并处理含**体。3、**合成工序原料硅粉经吊运，通过硅粉下料斗而被卸入硅粉接收料斗。硅粉从接收料斗放入下方的中间料斗，经用热**气置换料斗内的气体并升压至与下方料斗压力平衡后，硅粉被放入下方的硅粉供应料斗。供应料斗内的硅粉用安装于料斗底部的星型供料机送入**合成炉进料管。从**合成工序来的**气，与从循环**缓冲罐送来的循环**气混合后，引入**合成炉进料管，将从硅粉供应料斗供入管内的硅粉挟带并输送，从底部进入**合成炉。在**合成炉内，硅粉与**气体形成沸腾床并发生反应，生成**，同时生成**、二氯二氢硅、金属氯化物、聚氯硅烷、氢气等产物，此混合气体被称作**合成气。反应大量放热。合成炉外壁设置有水夹套，通过夹套内水带走热量维持炉壁的温度。出合成炉顶部挟带有硅粉的合成气，经**旋风除尘器组成的干法除尘系统除去部分硅粉后，送入湿法除尘系统，被**液体洗涤，气体中的部分细小硅尘被洗下；洗涤同时，通入湿氢气与气体接触，气体所含部分金属氧化物发生水解而被除去。除去了硅粉而被净化的混合气体送往合成气干法分离工序。/ o. 4、合成气干法分离工序从**氢合成工序来的合成气在此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和**气体，分别循环回装置使用。**合成气流经混合气缓冲罐，然后进入喷淋洗涤塔，被塔顶流下的低温氯硅烷液体洗涤。气体中的大部份氯硅烷被冷凝并混入洗涤液中。出塔底的氯硅烷用泵增压，大部分经冷冻降温后循环回塔顶用于气体的洗涤，多余部份的氯硅烷送入**解析塔。出喷淋洗涤塔塔顶除去了大部分氯硅烷的气体，用混合气压缩机压缩并经冷冻降温后，送入**吸收塔，被从**解析塔底部送来的经冷冻降温的氯硅烷液体洗涤，气体中绝大部分的**被氯硅烷吸收，气体中残留的大部分氯硅烷也被洗涤冷凝下来。出塔顶的气体为含有微量**和氯硅烷的氢气，经一组变温变压吸附器进一步除去**和氯硅烷后，得到高纯度的氢气。氢气流经氢气缓冲罐，然后返回**合成工序参与合成**的反应。吸附器再生废气含有氢气、**和氯硅烷，送往废气处理工序进行处理。出**吸收塔底溶解有**气体的氯硅烷经加热后，与从喷淋洗涤塔底来的多余的氯硅烷汇合，然后送入**解析塔中部，通过减压蒸馏操作，在塔顶得到提纯的**气体。出塔**气体流经**缓冲罐，然后送至设置于**合成工序的循环**缓冲罐；塔底除去了**而得到再生的氯硅烷液体，大部分经冷却、冷冻降温后，送回**吸收塔用作吸收剂，多余的氯硅烷液体（即从**合成气中分离出的氯硅烷），经冷却后送往氯硅烷贮存工序的原料氯硅烷贮槽5、氯硅烷分离提纯工序在**合成工序生成，经合成气干法分离工序分离出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的原料氯硅烷贮槽；在**还原工序生成，经还原尾气干法分离工序分离出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的还原氯硅烷贮槽；在**氢化工序生成，经氢化气干法分离工序分离出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的氢化氯硅烷贮槽。原料氯硅烷液体、还原氯硅烷液体和氢化氯硅烷液体分别用泵抽出，送入氯硅烷分离提纯工序的不同精馏塔中。6、**氢还原工序经氯硅烷分离提纯工序精制的**，送入本工序的**汽化器，被热水加热汽化；从还原尾气干法分离工序返回的循环氢气流经氢气缓冲罐后，也通入汽化器内，与**蒸汽形成一定比例的混合气体。从**汽化器来的**与氢气的混合气体，送入还原炉内。在还原炉内通电的炽热硅芯/硅棒的表面，**发生氢还原反应，生成硅沉积下来，使硅芯/硅棒的直径逐渐变大，直至达到规定的尺寸。氢还原反应同时生成二氯二氢硅、**、**和氢气，与未反应的**和氢气一起送出还原炉，经还原尾气冷却器用循环冷却水冷却后，直接送往还原尾气干法分离工序。还原炉炉筒夹套通入热水，以移除炉内炽热硅芯向炉筒内壁辐射的热量，维持炉筒内壁的温度。出炉筒夹套的高温热水送往热能回收工序，经废热锅炉生产水蒸汽而降温后，循环回本工序各还原炉夹套使用。还原炉在装好硅芯后，开车前先用水力射流式真空泵抽真空，再用氮气置换炉内空气，再用氢气置换炉内氮气（氮气排空），然后加热运行，因此开车阶段要向环境空气中排放氮气，和少量的真空泵用水（可作为清洁下水排放）；在停炉开炉阶段（约5－7天1次），先用氢气将还原炉内含有氯硅烷、**、氢气的混合气体压入还原尾气干法回收系统进行回收，然后用氮气置换后排空，取出多晶硅产品、移出废石墨电极、视情况进行炉内超纯水洗涤，因此停炉阶段将产生氮气、废石墨和清洗废水。氮气是无害气体，因此正常情况下还原炉开、停车阶段无有害气体排放。废石墨由原生产厂回收，清洗废水送项目含氯化物酸碱废水处理系统处理。7、还原尾气干法分离工序从**氢还原工序来的还原尾气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和**气体，分别循环回装置使用。还原尾气干法分离的原理和流程与**合成气干法分离工序十分类似。从变温变压吸附器出口得到的高纯度的氢气，流经氢气缓冲罐后，大部分返回**氢还原工序参与制取多晶硅的反应，多余的氢气送往**氢化工序参与**的氢化反应；吸附器再生废气送往废气处理工序进行处理；从**解析塔顶部得到提纯的**气体，送往放置于**合成工序的循环**缓冲罐；从**解析塔底部引出的多余的氯硅烷液体（即从**氢还原尾气中分离出的氯硅烷），送入氯硅烷贮存工序的还原氯硅烷贮槽。8、**氢化工序经氯硅烷分离提纯工序精制的**，送入本工序的**汽化器，被热水加热汽化。从氢气制备与净化工序送来的氢气和从还原尾气干法分离工序来的多余氢气在氢气缓冲罐混合后，也通入汽化器内，与**蒸汽形成一定比例的混合气体。从**汽化器来的**与氢气的混合气体，送入氢化炉内。在氢化炉内通电的炽热电极表面附近，发生**的氢化反应，生成**，同时生成**。出氢化炉的含有**、**和未反应的**、氢气的混合气体，送往氢化气干法分离工序。氢化炉的炉筒夹套通入热水，以移除炉内炽热电极向炉筒内壁辐射的热量，维持炉筒内壁的温度。出炉筒夹套的高温热水送往热能回收工序，经废热锅炉生产水蒸汽而降温后，循环回本工序各氢化炉夹套使用。9、氢化气干法分离工序从**氢化工序来的氢化气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和**气体，分别循环回装置使用氢化气干法分离的原理和流程与**合成气干法分离工序十分类似。从变温变压吸附器出口得到的高纯度氢气，流经氢气缓冲罐后，返回**氢化工序参与**的氢化反应；吸附再生的废气送往废气处理工序进行处理；从**解析塔顶部得到提纯的**气体，送往放置于**合成工序的循环**缓冲罐；从**解析塔底部引出的多余的氯硅烷液体（即从氢化气中分离出的氯硅烷），送入氯硅烷贮存工序的氢化氯硅烷贮槽。从合成气干法分离工序、还原尾气干法分离工序、氢化气干法分离工序分离得到的氯硅烷液体，分别送入原料、还原、氢化氯硅烷贮槽，然后氯硅烷液体分别作为原料送至氯硅烷分离提纯工序的不同精馏塔。在氯硅烷分离提纯工序3级精馏塔顶部得到的**、二氯二氢硅的混合液体，在4、5级精馏塔底得到的**液体，及在6、8、10级精馏塔底得到的**液体，送至工业级**贮槽，液体在槽内混合后作为工业级**产品外售。10、硅芯制备工序采用区熔炉拉制与切割并用的技术，加工制备还原炉初始生产时需安装于炉内的导电硅芯。硅芯制备过程中，需要用**和**对硅芯进行腐蚀处理，再用超纯水洗净硅芯，然后对硅芯进行干燥。酸腐蚀处理过程中会有**和氮氧化物气体逸出至空气中，故用风机通过罩于酸腐蚀处理槽上方的风罩抽吸含**和氮氧化物的空气，然后将该气体送往废气处理装置进行处理，达标排放。11、产品整理工序在还原炉内制得的多晶硅棒被从炉内取下，切断、破碎成块状的多晶硅。用**和**对块状多晶硅进行腐蚀处理，再用超纯水洗净多晶硅块，然后对多晶硅块进行干燥。酸腐蚀处理过程中会有**和氮氧化物气体逸出至空气中，故用风机通过罩于酸腐蚀处理槽上方的风罩抽吸含**和氮氧化物的空气，然后将该气体送往废气处理装置进行处理，达标排放。经检测达到规定的质量指标的块状多晶硅产品送去包装。 20210311

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