mocvd化学尾气处理器是否有**风险

张斯煜 2024-11-28 22:33:37
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金属有机化学气相沉积(mocvd)是一种合成方法,尤其适合于膜合成。 而发光二极管(led)是一种半导体器件,本无关联;只是led中广泛用到膜技术制造。 成膜技术很多,除了mocvd外,还有低压cvd(lpcvd),等离子体增强cvd (pecvd),液相外延(lpe) 20210311
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