薄膜体声波谐振器的研究进展

楚浩 2024-05-25 07:21:16
最佳回答
早在1965年newell便制成了布拉格反射形的薄膜谐振器。1967年制成cds薄膜谐振器1980年实现了在 si芯片上生长zno制成谐振频率为500mhz,q值为9000的薄膜谐振器。目前国际上的体声波谐振器技术发展很快,微型化、性能优良和 vlsi工艺兼容的体声波谐振器及其滤波器 日益成为当今国际研究的热点,... 20210311
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