ito导电膜是一种具有导电功能的氧化铟锡薄膜,基材通常为pet材质,是在pet薄膜上形成以稀有金属in(铟)为主要原料的ito(indium tin oxide)靶材而制成的。 作为一种n型半导体材料,ito导电膜具有较高的自有载流子浓度(电阻率低)、禁带宽度1、可见光谱区光透射率高等光学特征,基于透光率和导电性能较好,ito导电膜被广泛应用于平板显示器件、太阳能电池等诸多领域。 ito导电膜的主要特性包括:(1)导电性能好,电阻率可达10-4ω∙ cm;(2)可见光透光率高,可达85%以上;(3)对紫外线具有吸收性,吸收率在85%以上;(4)对红外线具有反射性,反射率在80%以上;(5)对微波具有衰减性,衰减率也可达85%(6)薄层硬度高,耐磨,耐化学腐蚀;(7)膜层加工性能好,便于刻蚀等。高的可见光透光率与相当低的电阻率结合在一起,使ito薄膜成为目前综合性能最优异的透明导电材料之一。 ito 薄膜的制备方法有多种,主要分为两大类:物理法和化学法,物理法包括磁控溅射、真空蒸发、离子增强沉积、激光脉冲沉积等,化学法包括热解喷涂、化学气相沉积、溶胶-凝胶法等,在这些制备方法中目前使用最多的是磁控溅射法。 20210311