为什么ito靶材由90%in2o3和10%的sno2组成?

晴川 2024-06-09 19:22:11
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ito的透光率和阻值由in2o3和sno2 的比例控制,增加氧化铟的比例可以提高透光率,而增加**的比例则可以降低电阻值,目前的技术而言我们能够沉积100nm-200nm膜厚的ito薄膜,为了达到90%的透光率氧化铟的比例需要达到90%,因此我们要采用的ito靶材应满足sno2:in2o3=1:9。 20210311
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