mems传感器发展状况

王家肉肉农场(评论里留言优先回赞 2024-06-26 11:39:14
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mems传感器的现状及0 引言mems(子机械系统)传感器是利用集成电路工艺和械加工方法将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上的传感器。20世纪60年代霍尼韦尔研究中心和贝尔实验室研制出首个硅隔膜压力传感器和应变计开创了mems技术的先河。此后,mems技术的快速发展使得mems传感器受到各发达**的广泛关注,与此同时,美国、**、日本等世界大国将mems传感器技术作为战略性的研究领域之一,纷纷制定相关的计划并投入巨资进行专项研究。mems传感器具有体积小、质量轻、功耗低、灵敏度高、可靠性高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势,从而促进了传感器向微型化、智能化、多功能化和网络化的方向发展。步入21世纪以后,mems传感器正逐步占据传感器市场,并逐步取代传统机械传感器的主导地位,在消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域备受青睐。1 mems传感器的分类及原理mems传感器种类繁多,按照测量性质可以分为物理mems传感器、化学mems传感器、生物mems传感器。按照被测的量又可分为加速度、角速度、压力、位移、流量、电量、磁场、红外、温度、气体成分、湿度、ph值、离子浓度、生物浓度及触觉等类型的传感器。目前,mems压力传感器、mems加速度计、mems陀螺仪等已在太空卫星、运载火箭,航空航天设备、飞机、各种车辆、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。2 mems传感器的典型应用在煤 20210311
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