mems的主要材料包括什么?为什么选择硅材料?

芯语 2024-05-26 18:10:30
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mems的主要材料包括:半导体硅、锗、**、金属铌、以及石英晶体等。其中,尤以硅最为常见。为什么选择硅材料?主要是为了考虑与集成电路兼容。ic器件发展到今天,基于硅的加工制造技术相当成熟,所以采用硅材料制造mems装置,可以重复使用硅工艺的相关设备与实验参数,并能与集成电路很好的兼容,最大化降**造成本。其中一个主要的原因是硅材料容易加工成各种形状,如可以使用koh进行各项异性腐蚀加工mems结构,还可以使用icp干法刻蚀成深宽比很高的立体结构,很难找到类似的材料。所以大多使用硅材料进行mems结构加工。 20210311
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