mems技术与微电子技术的区别与联系?

小睿宝 2024-11-16 04:41:20
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这一方面,motorala公司的yoshiiy等人在transducer'97上报道的单片集成智能压力传感器堪称典范[2]。这种传感器在1个 soi晶片上集成了压阻式压力传感器、温度传感器、cmos... 20210311
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