pecvd镀膜机一般抽到多少真空度

傻婆娘单身,傻得可爱,是下辈子的 2024-12-23 10:59:40
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一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍,一共洗两遍,然后再用氢气洗,之后就是成膜工艺气体配比充。 20210311
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