pecvd工作原理

酱紫鱼乐 2024-11-30 18:53:17
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pecvd-等离子体化学气相沉积法 为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd).实验机理:辉光... 20210311
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