apcvd、lpcvd、pecvd的区别?

我非柠檬为何心酸~ 2024-12-02 19:22:11
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制程温度必需降低,而lpcvd的严重问题是他的制程温度稍高,而pecvd即是一种合适的方法...企业简介:北方华创科技集团股份有限公司是目前国内集成电路高端工艺装备的龙头企业。... 20210311
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