bcd工艺技术

莫涵 2024-06-02 20:38:43
最佳回答
王晶绍目前最重要的一种单芯片功成电路技术是bcd(bicmos/cmos)。这是一种结合了型、cmos和dmos的单片ic制造工艺。相对于传统的双极功率工艺,bcd工艺具有明显的优势。由于dmos和硅栅cmos兼容,并且具有高效率(低损耗)、高强度(无二次击穿)、高耐压和高速开关特性。bcd工艺向小尺寸发展,并采用多层金属结构。这使功率器件的导通电阻大幅度降低,从而提高了电流密度和效率,同时增加了cmos电路的集成度。dmos(doublediffusionmetal-oxidesemiconductor)双扩散金属氧化物半导体。dmos管是采用双重扩散工艺,通过横向双重扩散的浓度差形成沟道的一种mos管结构,有横向和纵向两种dmos结构。(lateral)单端耐压ldnmos高压横向功率横向双端耐压单端耐压dmosldpmos双端耐压图1为横向dmos管示意图,通常,漏极被栅极所包围,漏区的形状为圆形或圆柱形或条形。dmos管沟道的形成是利用多晶硅栅做自对准,先扩p-well作为衬底,再扩n+作为源极,利用两次横向扩散的杂质浓度差,形成沟道。可以严格控制沟道长度低于1um(可得到很高的增益)。在沟道和漏极之间有个轻掺杂的漂移区,其杂质浓度低于p阱的浓度(高阻层)。多晶硅栅除了覆盖沟道外,还延伸到轻掺杂漂移区上,作为多晶硅场极板,其作用是降低pn结棱角处的电场强度。图1高压ldmos管示意图在p-衬底上进行n-外延,严格控制外延层的厚度和浓度,再在n-外延层制作l 20210311
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