国产光刻机能达到什么水平,和国外差距有多大,有哪些制造公司,发展前景如何?

越泽 2024-06-26 10:13:57
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02专项“极紫外光刻关键技术研究”项目顺利完成验收前现场测试 2016-11-30杨旺 ...记者从芯硕半导体公司了解到,该公司此项技术投入资金5000万元,历经一年时间,两台光刻机已... 20210311
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