半导体硅外延片与led外延片有什么区别

Qunun ? 2024-12-22 16:46:09
最佳回答
半导体硅外延片一般在硅衬底上外延生长硅薄膜,可以是p型或n型,属于同质外延,衬底和外延层失配小,成本低,通常使用pecvd、lpcvd等外延技术,用于制造硅半导体器件;主流的大功率led外延片最多使用的是蓝宝石衬底(也可以用sic、gan或硅衬底),在上面外延生长iii-v族化合物半导体全结构,属于异质... 20210311
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