化学试剂中的电子级什么意思?

就是喜欢你 2024-05-28 05:21:53
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电子化学试剂按照纯度分为up—s级、up级、el级三个等级. up-s级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到semi c8标准. up级:适用1微米集成电路及tft-lcd制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器... 20210311
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