半导体cmp slurry(材料:浆料)所用的品牌、成分

?Yanyan 2024-05-11 04:42:40
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介绍了半导体加工领域蓬勃发展的cmp技术。重点叙述了cmp技术的发展历程、采用的设备和消耗品,技术现状,新应用以及该技术主要使用的sio2cmp浆料的制备技术。 20210311
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