硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于...

睡不醒的不想睡 2024-11-16 13:25:58
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基本工艺要求 理想的刻蚀工艺必须具有以下特点:①各向异性刻蚀,即只有垂直刻蚀,没有横向钻蚀。这样才能保证精确地在被刻蚀的薄膜上复制出与抗蚀剂上完全一致的几何图形... 20210311
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