扫描电镜的历史?

Han 2024-06-17 21:49:48
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发展历史* 1873 abbe 和helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。1897 j.j. thmson 发现电子1924 lou** de broglie (1929 年诺贝尔物理奖得主) 提出电子本身具有波动的物理特性, 进一步提供电子显微镜的理论基础。* 1926 busch 发现电子可像光线经过玻璃透镜偏折一般, 由电磁场的改变而偏折。1931德国物理学家knoll 及ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。1937 首部商业原型机制造成功(metropolitan vickers 牌)。* 1938 第一部扫描电子显微镜由von ardenne 发展成功。1938~39 穿透式电子显微镜正式上市(西门子公司,50kv~100kv,解像力20~30å;)。1940~41 rca 公司推出美国第一部穿透式电子显微镜(解像力50 nm)。*1941~63 解像力提升至2~3 å (穿透式) 及100å (扫描式)1960 everhart and thornley 发明二次电子侦测器。1965 第一部商用sem出现(cambridge)1966 jeol 发表第一部商用sem(jsm-1)1958年**科学院组织研制1959年第一台100kv电子显微镜 1975年第一台扫描电子显微镜dx3 在**科学院科学仪器厂(现北京中科科仪技术发展有限责任公司)研发成功1980年中科科仪引进美国技术,开发kyky1000扫描电镜扫描电子显微镜(sem)是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。 20210311
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