euv光刻机难还是原**难?

✨王美丽? 2024-11-28 21:44:43
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微电子上市公司的设备工程师。大家可能还不能理解光刻机的工作原理。如果你是一个摄影爱好者而且还在胶片摄影的时候就已经开始摄影并且自己用胶片制作过照片那么你就比较好理解光刻机的工作原理列啊哈哈哈。现代光刻机就是你用胶片制作照片的放大机而已。而胶片就是光刻掩膜板。照片就是你的产品硅片而已。要制作一块集成电路要进行多次光刻,腐蚀,扩散,离子注入等等工艺。这些工艺全部要定向的,某些部位需要扩散掺杂的就留孔,其余部位遮挡。这就先通过制造一层遮挡层,通过光刻腐蚀掉不要遮挡的部位就是列啊哈。包括绝缘层,连接线层等等。这就 造成了制作一块集成电路需要多次光刻的问题,并且每一次光刻需要和上一次的光刻图像能够套上等等技术问题。吃瓜的群众可能很难理解。还有热胀冷缩造成的误差通过步进解决问题以及防止震动等技术问题 20210311
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