什么是光刻掩模板

陈大门牙 ? 2024-11-29 19:44:49
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在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,称为光刻掩模版。半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻... 20210311
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