晶圆厂photo区,pvd,cvd主要有哪些设备,各设备有何制程需求(化学品,gas)?

Miss 2024-11-16 04:18:35
最佳回答
photo 区是晶圆厂制造的头道,最忙的,mask 光罩duv muv机台等,后段是测量和adi目检之类。pvd和cvd就不… 20210311
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