靶材的作用和用途?

a苏奋斗。 2024-11-28 23:43:31
最佳回答
1、微电子领域 在所有2113应用产业中,半导体产5261业对靶材溅射薄膜的品质要求是最4102苛刻的。如今165312英寸(300衄口)的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。2、显示器用 平面... 20210311
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