我国首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备和目前最先进的光刻机有什么区别呢?
借此给各位普及下有关光刻机的一些常识:首先,因特尔三星台电的光刻机均买自于荷兰asml; 其次,他们均在asml持有股份(因特15%台电5%三星3%,目前台电已于2015年售出其全部股票/三星于2016售出其一半股份/因特也于2017年减持至5%);综上两点台电三星们只是有目前最高端光刻机的优先使用权并不是拥有光刻机独立完全的核心技木(因为amsl有将机器卖给别人的权力比如**就为我们中芯要到了一台7nm光刻机预订2ol9年交付)举个票子,就像数学公式,奥数竞赛的冠军可以熟练使用各种公式解题但并不是能说他用来解题的公式是他发明或创立的,同理为什么目前只有台电能量产7nm也一样,三星台电因特等厂商用的是amsl生产一模一样的光刻机,只能说明台电运用原产机器的思路超群,就像我们考试一样,面对同样的试题学霸可以用已知知识(如公式等)快速给出答案甚至有多种解法,而学渣呢你就是告诉他公式他也一脸懵逼不可能得出正确答案。其三,amsl之前的光刻机首曝光为35nm,目前最先进的极紫euⅴ首曝光为13.5nm,而目前鼓吹的7nm是多重曝光后的结果,强调一下是多重曝光; 其四,中科院通过验收的光刻机是其七年技术攻关结果,不是美制裁中兴后才头脑一热灵机一动就研发成功了,说明**在十几年前就在布局了不是媒体带路党所说的鼠目寸光只求市场不管技术,顺便说一下这台光刻机在2017年已经研制成功并试产过一些芯片了(不是原理机明白?相关信息可查阅**科技报)今年是验收通过,再说三遍是验收/验收/验收;最后,amsl的极紫euv首曝光达13.5nm是其近三十年(amsl创立于1964年前身为半导体设备代理商1984于飞利浦光刻设备研发小组合作1995上市开始跨越式发展2012年引入因特三星台电战略投资三家合占约23%的股份)的技术沉积结果/是amsl光刻设备五代机,强调一下是目前世界最最先进的光刻五代机,而中科院的光刻机首曝光达22nm/是我们国产的光刻设备一代机,再重复一遍是一代机,五代13.5nm与一代22nm,技术孰优孰劣一目了然!另外,amsl极紫euⅴ光刻机13.5nm使用的是193纳米光源,成本达几干万;国产sp光刻机22nm使用的是365纳米光源,成本仅几百万元,几干万与几百万,成本优势高下立判!至于有些说什么实际量产10nm要n年以后(说跟amsl一样需要多少多少设备多少多少材料等等)的说法,我也是无语了,国产sp光刻机与荷兰amsi光刻机是两种不同技术路线,就好像把大麦和水稻一样,虽然二者都可以做成馒头和米饭来解决人们的饥饿问题,但水稻并不需要像大麦一样收割打谷脱粒磨粉变为面粉然后加水和面加碱发酵然后塑形或条状或圆形再然后上锅蒸等诸多步骤,水稻只需要收割打谷脱粒两步变为大米就可以加水煮了如果再加上高压锅等设备就是在最后的出锅时间都能与馒头一较高下,除了以上步骤差异外再加上人力资源优势那边是十个人完成大麦从收割到上锅蒸十多项事务这边是一百人完成水稻两三项成为大米并上锅煮的事务,还有成本优势国产是几百万上干万元国外是一亿多美金(说明一下这里说的是整个光刻机成本不是上文提到的光源成本,免得喷子们乱喷),你说最终结果会怎样??只要不是**或傻子都明白!!要不然你以为我们求爷爷告奶奶二十多年了amsl就是不买给我们(就是从**那里花几倍价钱买个落后二代的都要被人家警告一番)现在那边却突发善心均许中芯国际购买了,要清楚只要中芯可以有和国外厂商一样的设备就有能力从国际市场抢下更多份额了,那以利益至上为首资本组织的为什么会允许别人从他本来十拿九稳的口袋里抢钱(标注一下,荷兰属于卢森堡公约的缔约国,而卢森堡公约是一个禁止高精尘技术向**开放并有封锁倾向性的公约)?! 20210311