国内哪个厂商可以做mems传感器?

漢中街拍客 2024-11-16 18:31:58
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pa-arg mems角速率陀螺,由西安精准测控研制,是用来测量角速率的无旋转马达的固态传感器。它采用微机械电子系统(mems)技术的芯片,其制造采用双极型金属氧化物半导体(bimos)技术的生产工艺和球形网格排列的载流焊工艺技术。具有高可靠性和高封装坚固性,并且具备自检测(self-test)功能,... 20210311
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