世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备宣布研制成功意味着什么?对国内芯片行业有何影响?

杨十三 2024-05-28 03:48:16
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新闻资讯军报记者成都11月29日电(吕珍慧、记者邹维荣)**重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收,这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备。该光刻机由**科学院光电技术研究所研制,光刻分辨力达到22纳米,结合多重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的芯片。 我国成功研制出世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备 可加工22纳米芯片 请问是什么水平,又意味着什么? 相关链接光刻机是制… 20210311
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