mems传感器的介绍

杨彬 2024-06-06 15:31:10
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mems即微机电系统(microelectro mechanical systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。截止到2010年,全世界... 20210311
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