mems传感器是什么意思

DKM_马正太 2024-05-31 05:54:48
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mems传感器即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。... 20210311
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