管式pecvd与平板式pecvd机器镀膜的区别在哪里?

芒果TV 2024-05-24 01:25:35
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前者是在管子里,片子在石墨舟里作为电极镀膜,可以叫做直接式,后者则在石墨框上,不作为电极,可以叫做间. 20210311
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