**光刻机距离顶尖水平还有较大差距,那么同样关键的蚀刻机处在什么地位?

浙江卫视 2024-11-15 03:57:15
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今年2月和3月,中芯国际从美国泛林集团购买了总计11亿美元的设备和工艺技术,主要购买的就是蚀刻机、mocvd设备及其工艺流程控制技术。在整个芯片生产中, 光刻机负责“绘制图片”,而蚀刻机负责“雕刻”, 技术要求都非常的高。详细讲就是光刻机负责将电路图复制到硅晶片,剩下的工作是蚀刻机通过蚀刻去除电路图中多余的硅晶片,仅留下有用的电路部件,然后在经过一系列处理、检测,最终生产出一块合格的芯片。一个芯片工厂的半导体工艺技术水平主要是由光刻机决定的,中微半导体拥有5nm蚀刻机,但这并不意味着它可以进行5nm光刻生产5nm芯片,不过中微半导体能拥有5nm蚀刻机对于**在半导体领域的发展仍具有非常重要的意义。虽然一台先进蚀刻机的价格高达数百万美元,但一条芯片生产线却需要使用许多台蚀刻机,产线使用的蚀刻机的台数是大大多于光刻机台数的,可见蚀刻机在芯片生产中的重要性。不过,虽然中微半导体在技术和产品实力上取得了很大突破,但其销售规模和市场份额依旧无法进入全球前三,中微半导体要追赶上国际巨头还需时日。 20210311
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