光刻机和刻蚀机哪个难?

潮拍小纯 2024-12-02 21:26:50
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光刻机一架7000万美元,刻蚀机一架700万美元,你觉得呢?当然是光刻机了,光刻机的量测系统 光学系统 控制...国内北方华创等国内的公司的蚀刻机台已经7nm了 甚至5nm量产了。... 20210311
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