光刻机作为高端技术的代表,我国的光刻机发展到什么地步了?

乱七、八糟 2024-06-28 13:14:26
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光刻机是2113制造微机电、光电、二5261极体大规模集成电路的关4102键设备。光刻机可以分钟两种,分别是模1653板和图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴芯片;第二是类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。曝光机在晶圆制作过程中,主要是利用紫外线通过模板去除晶圆... 20210311
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