场发射扫描电镜与一般的扫描电镜有什么区别

张宇鹏 2024-11-06 07:16:35
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场发射分热场和冷共性是分辨率热场的束流大些,适行分析,但维护成本相对较高,维护高。冷场做表面形貌观测是适合的,相对而言维护成本低些,维护要求不算高。冷场发射电子枪优点:单色性好,分辨率高缺点:电子枪束流不稳定,束流小,不适合做能谱分析,每天要做一次flash热场发射电子枪优点:电子束稳定,束流大缺点:与冷场相比除了单色性和分辨率略差点外,其它找不出缺点。热场在总发射电流(totalem**sioncurrent)、最大探针电流(maximumprobecurrent)、电子束噪声(beamno**e)、发射电流漂移(em**sioncurrentdrift)、工作真空(operatingvacuum)、阴极还原(cathoderegeneration)、对外部影响的敏感性(sensitivitytoexternalinfluence)等方面都具有一等的优势。这些参数直接影响电镜的性能。在阴极半径(cathoderadius)、有效电子源半径(effectivesourceradius)、发射电流密度(em**sioncurrentdensity)、标准亮度(normal**edbrightness)等方面,冷场发射略胜一筹。这几个参数总起来说就是冷场发射阴极的发射面积较小、能量集中,便于将电子束聚焦于一个很小的点,以提高分辨率。但是在现代的电镜技术条件下,热场发射电镜通过采取各种有效措施,也能够将电子束汇聚于一个理想的点,达到冷场发射电镜的分辨率水平。热场发射电镜主要的一个缺点是灯丝(阴极)寿命较短,给定寿命2000小时,实际可用3年左右。而冷场发射阴极寿命相对较长,且更换费用较低。 20210311
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